| ● 最大工作溫度2200℃ | ● 額外配備水冷法蘭，降低對腔體熱輻射 |
| ● 頂部具有特殊結構擴散板，提高束流均勻性 | ● 真空內長度可定制 |
氫/氧熱 裂解源 | 模塊描述 | 配置參數 |
| 型號 | E38AH | |
| 尺寸 | 安裝法蘭 | DN38CF |
| 真空內長度 | 343mm | |
| 真空內外徑 | 35mm | |
| 工作距離 | 100-200mm | |
| 溫度 | 工作溫度 | 1800-2200℃ |
| 溫度穩定性 | ≤0.1%，取決于PID溫控器 | |
| 最高除氣溫度 | 2500℃ | |
| 最高烘烤溫度 | 250℃ |
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